澄清或变更简要说明:8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统国际招标公告中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-03-29在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称:化学机械抛光系统设备数量:1套设备用途:新增化学机械抛光系统能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺,且相互之间不影响。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX004招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之化学机械抛光系统项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 化学机械抛光系统 1台 新增化学机械抛光系统能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺,且相互之间不影响。设备构成:由EFEM单元、抛光单元、清洗单元、机械传输单元、废液排放单元、排风单元、控制单元、研磨液供液单元和清洗液供液单元。详见招标文件第八章3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:(1)投标人是响应招标、已...
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