8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD国际招标公告(1)
项目详情
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-29在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：PECVD设备数量：2台腔体要求：3腔（单腔双片），其中包含：2个SiH4 base，1个TEOS base；设备原理及用途：PECVD是腔室在低压****温条件下，通入反应气体，形成等离子体，进行化学反应，在硅片表面淀积薄膜。PECVD主要用于产品中二氧化硅、氮化硅的制备。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2440SUMECF28/05招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之PECVD项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 PECVD 2 蝶阀控压精度 ≤1.5%。其他参数详见第八章无3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。② 投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授...
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